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S49 31/MT 质量流量计

S49 31/MT 质量流量计

简要描述:

S49 31/MT 质量流量计相关描述:加工定制
品牌:HORIBAMETRON
型号:S49 31/MT
测量范围(m3/h):0.3
类型:质量流量计
公称通径(mm):10
工作压力(MPa):3
精度等级:±1%

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质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM),用于对气体的质量流量进行精密测量。

S49 31/MT 质量流量计质量流量控制器特点:

主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。

具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

配合MT-60 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

S49 31/MT 质量流量计 和质量流量控制器主要应用领域:

半导体制造行业的气体流量控制;

分析仪器设备的气体计量与控制;

各种形式的真空镀膜设备;

环境检测与分析设备;

化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制;

特种材料表面处理装置与燃烧控制;

混气配气系统和泄露探测系统等。

2、S49系列质量流量控制器和质量流量计型号

S49 31 系列质量流量控制器,S49为质量流量控制器和质量流量计产品,31/MT为本公司此产品设计序列号。

其中:S49 31/MT 系列为质量流量控制器。

S49 31A/MT 系列为质量流量计。

质量流量计用于气体质量流量精确测量计量;质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能,还具有自动控制气体流量的功能。

3、 主要技术指标

质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量单位为:标准状态mL/min (毫升/分钟)   (SCCM行业标准);

标准状态L/min (升/分钟)(SLM行业标准)。

标准状态为:温度----0

气压----101325Pa

F.S(Full Scale):表示满量程值

表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标

 

编号

项目

S49 31/MT

S49 31A/MT

1

流量规格

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

(0~1,2,3,5)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

 

3

调节阀静止状态

常闭

 

4

准确度

±1%F.S(10mL/min~5L/min规格,其余规格≤±2% F.S)

5

线性

±1。0%F。S,±1。5%F。S

6

重复精度

±0.2%F.S

7

响应时间

(3~4)s

8

工作压差范围

(0.05~0.3)MPa;           (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min

9

耐压

3MPa;           10MPa

10

工作环境温度

5~45

11

材料

不锈钢316L

12

标准密封材料

Viton?,    EPDM,  或其他由用户指定

13

漏率

1×10-9atm.mL/s (He)

14

接头

Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),

软管接头Ф4mm~Ф10mm  或其他

15

输入输出信号

0V~+5。00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)

16

供电电源

±15V(±2%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

134×134×38

18

重量kg

1.0

 

S49 31A/MT系列质量流量计外形及安装尺寸

S49 31/MT 系列质量流量计的接线插头

 

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