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S48 300/HMT 质量流量计

S48 300/HMT 质量流量计

简要描述:

S48 300/HMT 质量流量计 广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。

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使用范围:

S48 300/HMT 质量流量计 广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。

1。2 质量流量控制器和质量流量计

质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC),具备流量测量和流量控制两种功能。

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM),只有流量测量功能,不具备气流控制功能。

1.3 S48 300/HMT质量流量计 的特点

 S48 300/HMT型质量流量计 是在引进HORIBA STEC技术基础上,结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品,采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

 RS232/485串口, Modbus(RTU)开放协议。协议简单可靠,兼容性强,易于组网。配合上位机,可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。

耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。

主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。

可任意角度安装。

兼容数字和模拟控制及显示,使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。配合MT-50或51系列流量显示仪,可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。

     S48 300/HMT数字流量控制器技术指标

 

编号

项目

S48 300/HMT

1

流量规格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

2%-100%F。S。

6

流量测量范围

0-100%F。S。

7

响应时间

≤ 1 sec

8

工作环境温度

5-50

9

精度保证温度

15-35

10

精度

±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.)

11

线性精度

±0。5%F。S。

12

重复性

±0.2%F.S.

13

工作压差

-5L/min (50-300)kPa(D)                         10L/min-30L/min (100-300)kPa(D)                50L/min (150-300)kPa(D)

14

耐压

3MPa(G)

15

泄漏率

<1×10-8Pa·m3/s(He)

16

接触气体材料

316L,Viton? 氟橡胶,PTFE

17

管路接头

Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″

18

供电电源

±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA

19

设定信号

数字:RS485/RS232

模拟:0 - +5V,输入阻抗>10kΩ

20

流量输出信号

数字:RS485/RS232

模拟:0 - +5V,负载能力≤3mA

21

通讯接口

数字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps,

Modbus RTU 协议从机,设备号可选范围0-15

22

重量(kg)

0。9

 

4.2 订货规范

在订货时应指明是质量流量控制器还是质量流量计,指明S48 300/HMT产品型号,流量规格,使用气体种类,管接头种类。

例如:MFC(或MFM)-S48 300/HMT(产品型号)  500mL/min(流量规格) N2(气体种类) Φ6(管路接头)

 

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